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低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Z大、極限壓力Z低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

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SHZ-III循環水真空泵特點：此泵具有不用油、無污染、噪音低、移動方便等優點；采取雙抽頭，可單獨或并聯使用，裝有兩個真空表。儲水箱和主要部件采用新研制特殊防腐工程塑料，機內連接的主管道選用全不銹鋼，耐腐蝕，耐溶解。